Том 17 Глава 1567Глава 1623 Суперразрешение фотолитография

Взгляд Луань Вэньцзе застыл на последней четкой надписи "Группа 11, Элемент 4" на экране, словно время остановилось. 173 нм — После кратковременного подъема волнения он невольно начал размышлять о глубоком значении этой цифры. Предел дифракции, теоретический верхний предел разрешения в оптических системах, обусловленный дифракционным эффектом электромагнитных волн, является продолжением корпускулярно-волнового дуализма света. Если говорить шире, то это можно считать одним из краеугольных камней современной физики и даже современной науки. И то, что произошло в тот момент, казалось, легко разрушило этот краеугольный камень. Столкнувшись с этой ситуацией, любой, кто знаком с историей науки, сразу вспомнит события более чем столетней давности. Это прогресс, который разбил классическую физическую систему. "Профессор Чан..." Сразу же, как он открыл рот, Луань Вэньцзе чуть не испугался собственного сухого голоса. После нескольких колебаний он вернул прежнее ощущение. "Расскажи мне все..." он слегка наклонился вперед и тихо спросил: "Не нависли ли над нашим современным физическим небом еще две 'черные тучи'?" Очевидно, Луань Вэньцзе пытался сделать свой вопрос более легким. Но, очевидно, потерпел неудачу. Вместо этого на лице Чан Хаона появилась улыбка, и он ответил с полушуткой: "Доктор Луань, я не занимаюсь метеорологией и не умею предсказывать погоду." Однако, выражение лица собеседника стало еще более серьезным. "Я серьезно, профессор Чан, вы должны понимать, что я имею в виду." Он сделал шаг вперед, пристально глядя на Чана Хаона: "Этот результат... это уже не попытка проверить край черных туч, если нет нового открытия, способного потрясти существующие физические законы, как это может так легко превзойти предел дифракции линзы?" Чан Хаонан, конечно, понимал потрясение собеседника. На самом деле, когда он впервые теоретически вывел эту возможность, он тоже подумал, что, должно быть, допустил ошибку вместе с Эйнштейном. Но потом понял, что нет. Оба они были правы. "Доктор Луань, вы сказали только половину правды", - он слегка махнул рукой, не обращая внимания на все еще озадаченное выражение лица Луань Вэньцзе, и просто махнул рукой Ли Ябо, стоящему рядом: "Ябо, уберите светозащитный кожух". Ли Ябо немедленно шагнул вперед и осторожно отодвинул черный цилиндрический светозащитный кожух. Вид на платформу мгновенно открылся без каких-либо помех. "С точки зрения оптической модели", - сказал Чан Хаонан, указывая на открытую центральную область, - "это две линзы, совместно составляющие эту систему, превосходящую предел". Луань Вэньцзе немедленно наклонился ближе, почти прижав лицо к оптической платформе, внимательно рассматривая: Обычная на вид, гладкая с поверхности плоская линза. "И еще, рядом с ней расположен... полупрозрачный плоский экран?" "Это он?" Луань Вэньцзе указал на плоский экран и снова посмотрел на удаленный экран изображения. "Нет, нет, нет..." Чан Хаонан покачал головой. "Задняя часть - это экран изображения, я имею в виду другую линзу, точнее, газ в этой системе." Луань Вэньцзе, казалось, начал понимать: "Так значит, свет сначала проходит через линзу, проецируется на этот плоский экран, а затем изображение с экрана... принимается и отображается на экране?" "Именно так", - кивнул Чан Хаонан, поощряя острое наблюдение Луань Вэньцзе. "Конечно, экран изображения также может блокировать путь света, чтобы лазерный луч не выходил за пределы зоны тестирования и не влиял на другое оборудование или людей." Луань Вэньцзе инстинктивно вытянул руку, чтобы показать расстояние между линзой и плоским экраном. Но тут же вспомнил, что нельзя трогать эти вещи, и отдернул руку, спросив: "А почему плоский экран расположен так близко к линзе?" "На самом деле между ними есть зазор, около 1,5 микрометра", - Чан Хаонан жестом показал чрезвычайно маленькое расстояние. "Его даже не видно невооруженным глазом." Он надел специальные антистатические перчатки и очень осторожно снял ключевой плоский экран, расположенный между линзой и плоским экраном - это и был настоящий элемент формирования изображения. Затем он начал отвечать на первоначальный вопрос собеседника. "Причина существования дифракционного предела заключается в том, что традиционные линзы не могут сфокусировать свет в области, меньшей половины длины волны." Чан Хаонан сжал в руке тот самый специальный плoский экран и показал его Луань Вэньцзе: "Но наша идея заключается в том, чтобы добиться 'отрицательной рефракции' света на материальных поверхностях с одинаковыми по абсолютной величине, но противоположными по знаку показателями преломления." Он указал на линзу и плoский экран в его руке: "Конкретнее, мы заставляем свет, испускаемый целевым объектом, фокусироваться на плoском экране, изготовленном из материала с отрицательным показателем преломления. Теоретически это позволяет обойти ограничения дифракционного предела и действительно добиться идеального изображения." В ходе разговора его взгляд скользнул по нечеткому изображению цели с разрешением 173 нм на экране. Затем он добавил: "Конечно, в реальной практике проблемы потерь из-за мнимой части потерь материала и несоответствия импеданса интерфейса будут вносить потери, влияя на дальность передачи быстротунущих волн и конечное разрешение. Поэтому мы пока не можем добиться идеального изображения в соответствии с теорией... Но сжатие эффективного разрешения до примерно половины дифракционного предела, как вы видели только что, — это очень легко." "Если использовать источник света с более узкой и чистой спектральной шириной и в сочетании с дальнейшей оптимизацией технологии материалов, можно, вероятно, еще приблизиться к одной четверти." Луань Вэньцзе стоял на месте и чувствовал, как его мозг переживает информационную бурю. Он слышал каждое слово объяснения Чана Хаонана, но сочетание терминов — "отрицательная рефракция", "быстротунущие волны", "согласование импеданса", "мнимая часть потерь" — сформировало новое физическое представление, которое он не мог полностью понять и переварить за короткое время. Это было не просто "непонимание", а ощущение принудительного растяжения, а даже частичного разрыва, когнитивной структуры. Это заставило его дух дрогнуть еще сильнее, чем просто увидеть результат, превосходящий предел. Целую полминуту он просто смотрел на плоский экран в руках Чана Хаона, а затем на четкое изображение на экране, шевелил губами, но не мог издать ни звука. Как глава Комиссии по промышленному строительству, он прекрасно понимал стратегическую ценность этой революционной технологии, но именно поэтому ощущение тяжести, исходящее от неизвестного, было еще сильнее. Однако, даже если вокруг никого не было, такое ошеломленное выражение лица не стоит поддерживать слишком долго. "Кашляю..." Луань Вэньцзе откашлялся, готовясь временно отвлечься от части оптической теории и вернуться к более практическим аспектам: "Профессор Чана, я понимаю... ну, по крайней мере, понимаю, насколько это значимо." Он указал на экран: "Этот результат теста... могу ли я скопировать копию и взять ее с собой? Когда буду отчитываться вышестоящему руководству, такие наглядные доказательства будут убедительнее любых слов." Чан Хаонан покачал головой: "Должность Луань-кун, этот тест является успешным с точки зрения проверки принципа, но как материал для демонстрации неспециалистам, он все еще слишком абстрактен." Решители Китая в основном имеют техническое образование, это правда, но десятилетия, проведенные вдали от практической работы, могли заставить их забыть многое из конкретных знаний. Он вернул линзу на место и продолжил: "Я планирую использовать линзу, изготовленную нами на основе принципа отрицательной рефракции, и традиционную линзу из PMMA (органического стекла), одновременно экспонируя сложный микроструктурный узор с шириной линий в 200 нм, и затем использовать атомно-силовую микроскопию (АСМ) для сканирования поверхностной топографии обоих изображений." "В то время, когда мы расположим рядом трехмерные изображения, полученные с помощью Атомно-силовой микроскопии (АСМ), — с одной стороны, четкое, с резкими краями изображение деталей, а с другой — размытый, неразличимый набора 'мозаики' структуры… визуальный эффект будет еще сильнее." Этот план явно был тщательно обдуман, даже тот, кто не понимает физики, мог сразу увидеть разницу. "Отлично! Это отлично!" Луань Вэньцзе представлял себе две контрастные картинки, и его напряженные нервы наконец немного расслабились. "Очень наглядно! Тогда я буду ждать вашей АСМ-сравнения!"
Обновлено: 07.04.2026

Комментарии к главе

Загрузка комментариев...