— Профессор Чан, это…? Луань Вэнцзе огляделся, немного не понимая.
По сравнению с оборудованием для тестирования фотолитографа, которое имеет отношение к судьбе полупроводниковой промышленности страны, здесь оборудование казалось слишком «обычным».
— Чистый оптический… эксперимент по подтверждению первозданности, — лаконично сказал Чан Хаонан, взглянув на Ли Ябо. «Мы готовили это почти полгода, и только недавно действительно получили условия для тестирования».
— Чистый оптический? Что подтверждать? Вопрос Луань Вэнцзе стал еще более непонятным.
— Вы скоро узнаете, — Чан Хаонан продолжал держать в напряжении, показывая Луань Вэнцзе, чтобы он терпеливо наблюдал, а его взгляд также был направлен на работу Ли Ябо.
Ли Ябо в последнюю очередь убедился в коаксиальности всех оптических элементов, а затем чрезвычайно осторожно вставил металлическую пластину размером с ладонь, покрытую чрезвычайно мелкими черно-белыми полосками, в специальный целевой держатель, а также немного отрегулировал ее положение и угол.
Затем он подошел к компьютеру, быстро напечатал несколько раз на клавиатуре.
Вжух…
Легкий звук запуска, и источник света, расположенный на одном конце платформы, загорелся.
В мгновение ока из него вырвался яркий, ослепительный красный лазерный луч, после расширения и выравнивания превратившись в параллельный красный свет диаметром около нескольких миллиметров, который вошел в черный светозащитный кожух посередине.
А когда свет выходил с другой стороны, он уже слегка приобрел размытость.
В конечном итоге этот луч света был проецирован на точную экранную панель, расположенную в нескольких метрах, формируя световое пятно с мягкими границами.
— Красный свет? Луань Вэнцзе немного изумленно воскликнул: «Все еще видимый свет?»
По его мнению, для достижения предела следует использовать свет с более короткой длиной волны, например, ультрафиолетовый или экстремальный ультрафиолетовый.
Чан Хаонан, казалось, заранее предвидел этот вопрос и спокойно объяснил:
— Мы тестируем результат, который теоретически «невозможно реализовать с помощью традиционных линз… Если использовать свет с слишком короткой длиной волны, то… требования к точности и шуму самой тестовой системы будут высоки, и, скорее всего, мы не сможем получить эффективный результат».
Как только он закончил говорить, Ли Ябо, который все время смотрел на экран компьютера, поднял голову:
«Найдено», — сказал он, на его лице не было особых эмоций, но голос немного дрожал:
— Четкое изображение! Я нашел результат изображения мишени!
«Быстрее!»
Чан Хаонан немедленно шагнул вперед, заняв место перед дисплеем Ли Ябо.
Луань Вэнцзе также не смог сдержать любопытства и быстро подошел ближе.
На экране не отображалась какая-то сложная схема, а серия светлых и темных вертикальных полос одинаковой ширины и расстояния.
Края полос были резкими, контрастность очень высокой.
Он быстро перебрал в уме свои знания, но не смог вспомнить ничего, что соответствовало бы текущей ситуации.
Но, глядя на позу учителя и ученика, он интуитивно почувствовал, что это что-то необычное.
К счастью, Чан Хаонан не дал его сомнениям затянуться надолго.
— Это часть тестовой мишени по разрешению, — он указал на вертикальные полосы на экране, объясняя: «Согласно критерию Рэлея оптического изображения, при использовании видимого красного света с длиной волны λ=632.8 нм, теоретический предел разрешения традиционной линзы δ составляет примерно 0.61λ/NA… Пересчитано для нашей системы, это примерно 316 нм».
Он указал на группу полос, которые были наиболее четкими на экране, и рядом с ними была подпись с нумерацией:
— Посмотрите сюда, 5-й элемент в 10-й группе, ширина соответствующей линии составляет 308 нм… Это значит, что для обычной линзы, в длине волны 632.8 нм, не должно быть видно узоров ниже 5-го элемента в 10-й группе на мишени.
Чан Хаонан сделал намеренный паузу, сказав это.
Затем он передвинул мышь по экрану, быстро просматривая его.
Вскоре курсор остановился в области слева экрана. Там отчетливо отображался узор из трех вертикальных светлых линий, разделенных одинаковыми черными линиями.
Подпись на этом узоре гласила: «Группа 10, Элемент 5»!
«Хм?»
Луань Вэнцзе ахнул и невольно наклонился вперед, почти прижавшись к экрану.
Критерий Рэлея был основой физики, он уже понял смысл этого теста.
308 нм – это уже превышает, по крайней мере, приближается к пределу разрешения, соответствующему длине волны 632.8 нм.
Однако три светлые линии перед его глазами были настолько четкими и резкими, с гладкими краями, без малейшего намека на размытие или дифракцию.
Это совсем не похоже на приближение к теоретическому пределу, а скорее на различение объекта, значительно превышающего этот предел!
На лице Чана Хаона все еще сохранялось спокойствие человека, контролирующего все, и он не спешил отвечать на изумление Луань Вэнцзе.
Он лишь снова передвинул мышь, управляя перемещением области изображения на экране вниз.
Экран переключился, и изображение переместилось в область, помеченную как «Группа 10, Элемент 6».
Линии на этой схеме были еще более плотными.
Однако, три светлые линии в графике по-прежнему отчетливо различимы.
Их резкость по сравнению с 9-5 практически не уменьшилась на глаз!
— Группа 10, Элемент 6, соответствие разрешению 274 нм!
В этот момент Ли Ябо дал данные.
Глаза Луань Вэнцзе уже расширились до предела, и он был полностью поражен увиденным.
274 нм!
Предыдущий результат, возможно, можно было объяснить погрешностью.
Но это уже несомненно нарушило теоретический предел дифракции под красным светом 632.8 нм.
Это полностью перевернуло оптический здравый смысл!
Чан Хаонан по-прежнему молчал, уверенно управляя мышью. Изображение на экране продолжало спускаться вниз:
Группа 11, Элемент 1 (соответствующее разрешению около 244 нм) – четко!
Группа 11, Элемент 2 (около 218 нм) – четко!
Группа 11, Элемент 3 (около 194 нм) – четко!
…
Сердце Луань Вэнцзе учащалось с каждой смене изображения, и дыхание становилось прерывистым.
Каждое появление четкого изображения беспощадно разрушало основы столетий оптической теории!
Изображение снова переключилось:
Группа 11, Элемент 4 – три светлые линии по-прежнему стойко сохраняли способность различаться.
Хотя контрастность по сравнению с предыдущими группами немного снизилась, а светлые линии, казалось, немного сузились, они по-прежнему четко располагались рядом друг с другом, а темная щель посередине отчетливо видна!
Это уже значительно опережает предел дифракции!
Луань Вэнцзе почувствовал, что его эмоции словно взволновались, он крепко сжимал кулаки, непроизвольно.
Чан Хаонан снова щелкнул.
Изображение переключилось на Группу 11, Элемент 5.
На этот раз на экране наконец-то произошли изменения.
Три светлые линии, которые должны были быть четкими и отдельными, теперь, словно пропитанные водой чернила, с размытыми краями, слились, образовав размытое пятно с немного более высокой яркостью, из которого уже нельзя было различить ни одной отдельной линейной структуры!
"Не видно!" Почти одновременно Луань Вэнцзе и Ли Ябо выкрикнули это!
Высказавшись, первый осознал, что немного потерял самообладание.
Но к счастью, посторонних не было, поэтому он быстро снова уставился на экран.
"Это узор из 5 элементов 11 группы (Группа 11, Элемент 5)!"
Он точно назвал номер целевого элемента, который стал размытым, голос немного дрогнул от волнения.
Чан Хаонан кивнул, взгляд зафиксировался на последнем четком узоре на экране: "Верно, поэтому последний, который можно четко различить, это элемент 4 группы 11". Затем он повернулся к Ли Ябо: "Ябо, инструкция к мишени".
Ли Ябо немедленно открыл инструкцию и положил ее на клавиатуру.
В этой инструкции подробно задокументированы точные значения ширины линий и разрешения, соответствующие каждой группе и каждому элементу мишени с разрешением USAF 1951.
Поскольку элементы 11 группы были чрезвычайно тонкими и редко использовались в обычных тестах, даже Чан Хаонан не мог немедленно вспомнить их точные значения.
В лаборатории мгновенно воцарилась тишина, оставив лишь несколько тяжелых вздохов.
Взгляд всех был прикован к пальцам Чана Хаонана, которые быстро скользили по таблице.
Он быстро нашел группу 11, а затем, двигаясь вниз по номерам элементов, остановился на одной цифре:
"Группа 11, Элемент 4… Разрешение: 0.173 мкм… 173 нм."
173 нанометра!
Эта цифра, словно гром среди ясного неба, разорвала тишину маленькой лаборатории!
Чан Хаонан поднял голову, его взгляд скользнул по изумленным Ли Вэнцзе и взволнованному Ли Ябо. Его голос был спокоен, но в нем таилась сила, способная переписать учебники:
"Теоретическое разрешение дифракции красного света с длиной волны 632.8 нм, рассчитанное по наиболее либеральному критерию Рэлея, составляет примерно 316 нм. По более строгим критериям Спарро или на основе практического опыта обычно считается, что оно находится в районе 350 нм."
Он сделал паузу, каждое слово звучало твердо и уверенно:
"И последний четко различимый элемент 4 группы 11, который мы наблюдали, имеет разрешение 173 нм."
"Даже если принять во внимание возможные незначительные ошибки в тесте, этот результат однозначно показывает——"
Голос Чана Хаонана внезапно стал громким, пронзительным и властным:
"Мы успешно преодолели пределы дифракции Абе оптических изобразительных систем!"
Обновлено: 07.04.2026