Шу Рон Чана глубоко вдохнул, стараясь, чтобы его голос звучал мощно.
Но из-за маски он звучал немного глухо:
"Открывайте!"
Двое SMEE инженеров, уже готовых, серьезным лицом подошли к грузовому контейнеру.
Они каждый держал в руке странный серебряный ключ и вставлял его в замки с обеих сторон контейнера.
Оба одновременно начали отсчет:
"Три... два... один... Открывайте!"
Две ключа почти одновременно повернулись на 90°,
На лицевой стороне контейнера яркий красный свет мгновенно переключился на стабильный зеленый!
"Динь!" Короткий и четкий сигнал о разблокировке электронного замка.
Затем последовал тихий звук сброса гидравлического давления. Тяжелые двойные двери из сплава плавно и бесшумно открылись по точным направляющим в стороны.
Появилась толстая, очень прозрачная защитная крышка из закаленного стекла.
Через стекло отчетливо видно, что внутри надежно закреплен на специальной подставке основной компонент, плотно обернутый многослойным амортизирующим материалом —
Тот самый легендарный модуль "новая линзовая система".
Модуль в целом цилиндрической формы, гораздо компактнее, чем они предполагали.
Хотя все линзы покрыты черными светозащитными чехлами, общий контур и расположение линз отчетливо видны.
"Э?"
Фан Хонцзя, следовавший за Чжан Рунингом, не смог сдержать тихого восклицания, которое особенно отчетливо прозвучало в тихой мастерской.
Он тут же осознал свою неловкость, немного смущенно поправил защитные очки и объяснил: "Извините... я имею в виду, интеграция этого модуля... в DUV-системе я не видел уже лет десять!"
Более десяти лет назад DUV-светные источники только начали внедряться в литографические системы.
Простота модуля объяснялась относительно низкой производительностью.
Но появление такой компактной системы сейчас — это уже другое дело.
"Не торопись." Чжан Рунин обернулся к нему, загадочно улыбнулся и сказал: "Более шокирующее ждет тебя впереди."
Сказав это, он и Шу Чан лично подошли вперед и осторожно, сообща приложив усилия, медленно отодвинули огромную защитную крышку.
Затем несколько инженеров в чистых костюмах, в специальных перчатках, под личном руководством Чжана Рунинa, с большой осторожностью сняли фиксаторы модуля и затем сообща переместили его по точным направляющим на специальную оптическую монтажную платформу.
Когда модуль надежно закрепился, настал самый важный момент.
Двое инженеров подошли вперед и, с помощью специальных инструментов, очень нежно и точно сняли по одному черные светозащитные чехлы с каждого блока линз.
Наконец, истинный облик линзового блока полностью предстал перед всеми!
В серебристо-сером металлическом линзовом корпусе по определенной последовательности расположены четырнадцать линзовых блоков разных размеров и форм, края линз блестят под светом безмолвного фонаря.
"Это..." Кон Сюэ Ву широко раскрыл глаза, инстинктивно сделал шаг вперед и с недоверием пробормотал: "Эта... структура светового пути... почему она выглядит как... ретро-рефракционный линзовый блок?"
Стоит отметить, что с третьего поколения ArF-850, компания Changguang Group отказалась от рефракционных модулей и перешла на отражающие системы.
Шу Чан также нахмурился, обошел монтажную платформу и что-то показывал пальцами в воздухе.
Как специалист по интеграции всей системы, он очень чувствителен к световым путям.
"Странно..." в голосе Шу Чана звучало замешательство. "Кажется, я не совсем понимаю световой путь этого линзового блока..."
Сказав это, он отступил на несколько шагов и еще раз что-то показал пальцами.
Результат остался тем же:
"Независимо от того, предполагаем ли мы, что свет падает на 1-ю линзу (самый верхний выпуклый линзовый элемент) или на 2-ю линзу, учитывая кривизну этих линз и углы призмы, световой луч, кажется, не может эффективно сходиться к задней линзе... наоборот, кажется, он будет непосредственно преломляться или отражаться сбоку, например, в позиции 5-й или 7-й призмы?"
Он посмотрел на Чжан Рунинга и Ли Ябо, пытаясь получить ответ.
Но не получил немедленного ответа.
Когда все были увлечены этой необычной структурой, тихо обсуждали и задавались вопросами, Чжан Рунинг подошел к большому сенсорному дисплею, подвешенному рядом с монтажной платформой.
Он вытянул перчатку и дважды коснулся экрана, чтобы разбудить его, а затем быстро ввел длинную последовательность сложных динамических ключей.
Экран загорелся, мгновенно переключившись на высокосложный, подробно промаркированный трехмерный интерфейс светового пути.
Чжан Рунинг обернулся к собравшимся.
Только что тихо обсуждавшие Шу Ронча, Фань Хонцзя, Кон Сюэ Ву и другие тут же замолчали.
Вся стерильная комната была лишь тихим гулом системы циркуляции воздуха, а также двадцати с лишним взглядов, полных изумления, любопытства и жажды знаний, сосредоточенными на большом экране.
За исключением нескольких ключевых членов Changguang и Fire Torch, которые участвовали в разработке и тестировании с самого начала вместе с Чжан Рунингом, на их лицах играли понимающие улыбки, и они с интересом ждали дальнейших реакций коллег.
"Все," голос Чжан Рунинга, отчетливый и уверенный, звучал сквозь маску. "Это ядро конструкции нашей 'новой линзовой системы ArF-1800'."
Он указал на сложную схему светового пути в центре экрана: "Во-первых, вопрос, который волнует всех – световой путь."
Схема светового пути была выделена ярким цветом, и фиолетовая линия, представляющая лазерный луч DUV с длиной волны 193 нм, начала динамически вырисовываться по заданному маршруту.
"Источник света, здесь, с определенного угла падает на 1-ю выпуклую линзу." Точка света точно попадает на 1-ю линзу.
"Затем свет последовательно проходит через здесь, здесь..." Фиолетовые вспомогательные линии, представляющие световой путь, быстро перепрыгивают между несколькими линзами. "Обратите внимание сюда, на 5-ю призму! И сюда, на 7-ю призму! Свет на их поверхностях, не просто преломляется или отражается..."
По мере его объяснения на экране выделялись и увеличивались в размере позиции 5-й и 7-й призм.
Однако, когда две лучи света соприкасались с поверхностью призм, они странным образом направились в разные стороны!
Одна четко продолжала движение по пути преломления, продолжая двигаться сквозь призму, а другая изменила направление на 90 градусов по пути отражения!
"Это... это как возможно?!" Сю Хунцзя был потрясен до глубины души и чуть не вырвался крик.
Он пристально смотрел на экран, чувствуя, как у него немного затуманилось сознание:
Как оптический элемент может одновременно нести функции преломления и отражения?
В линзовой системе отражающие свойства поверхностей преломляющих элементов являются одной из основных помех, которые необходимо максимально устранить.
Но Чжан Рунинг не останавливался и продолжал направлять световой путь: "...После 16 преломлений и 4 ключевых отражений в конечном итоге свет будет идеально сходиться здесь – на нижнюю линзу!"
Точка света точно сходилась на точке, представляющей кремниевую пластину.
Вскоре Сю Хунцзя понял, что проблема не только в этих двух местах.
Пути светового пути через 3-ю и 12-ю линзы также выглядели странно, словно нарисовали контуры зеркал неверно...
Он подавил порыв немедленно задать вопрос, просто записав ключевые сомнения в голове, чтобы задать их позже.
Однако объяснение Чжан Рунинга было еще быстрее.
"Хорошо, световой путь ясен," его тон стал чрезвычайно серьезным. "Теперь подчеркну ключевые моменты установки и настройки!"
"Ядро всей линзовой системы составляют эти четыре линзы!" Он указал пальцем на 3-ю линзу, 5-ю призму, 7-ю призму и 12-ю линзу, которые на экране ярко выделялись контурами.
"Они изготовлены из революционного материала с отрицательным показателем преломления," Чжан Рунинг с невозмутимым тоном произнес ошеломляющее слово. "Основная функция 3-й и 12-й линз – устранение хроматических аберраций и обеспечение четкости изображения."
"А 5-я и 7-я призмы," Чжан Рунинг продолжил, "используя особые оптические свойства материала с отрицательным показателем преломления, одновременно выполняют функции преломления и отражения, избегая перекрытия света, падающего перпендикулярно, другими элементами..."
"......"
Он оглядел всех присутствующих:
"Именно поэтому при установке, позиционировании и калибровке этой линзовой системы точки отсчета отличаются от нашей предыдущей системы ArF-1500! Это уже не традиционная трехточечная калибровка – 1-я линза, средняя линза, нижняя линза!"
На экране четыре красных треугольника точно отмечали положение 3-й линзы, 7-й призмы, 12-й линзы и нижней линзы.
"А это – четырехточечная калибровка: 3-я, 7-я, 12-я, нижняя линзы! Требования к точности позиционирования и сложность взаимосвязей значительно превышают все предыдущие модели. Именно поэтому эту работу должны выполнять только наши самые опытные специалисты, с тесным взаимодействием с товарищами из SMEE и HuaXin..."
"......"
На самом деле, большую часть этой части он, скорее всего, повторит еще раз.
Потому что в тот момент, когда он произнес слова "материал с отрицательным показателем преломления", большинство людей уже впали в ступор.
Особенно Сю Хунцзя мгновенно понял, что такое "еще более шокирующее будет дальше".
Вот это да!
Я действительно никогда не видел такой технологии…
Обновлено: 07.04.2026