Поскольку лазер требует очень строгих условий для установки и эксплуатации, поэтому он интегрирован в один компонент.
А до этого, путешествуя по стране, Ли Ю и другие осмотрели и изучили несколько основных литографических машин Великой Ся, и уже были уверены в своих силах.
Зрелые люди, пережившие взлёты и падения, не похожи на неопытную молодёжь, они не будут легко злиться из-за непонимания и сомнений других людей.
Утереть нос продуктом - вот что доставляет им наибольшее тайное удовольствие.
"Поскольку ваша компания подготовила адаптацию, у нас в лаборатории есть машина этой модели, давайте посмотрим".
Чжао Синся затем добавил: "Сначала подпишем контракт, чтобы избежать неожиданностей в процессе эксперимента и ненужных потерь для всех, хорошо?"
"Конечно, можно".
Гу Цин с улыбкой согласился, он, конечно, понимал его.
Литографическая машина хоть и не такая дорогая, как некоторые спортивные автомобили, но её сложнее создать, и поломка одной машины - это огромные убытки.
Когда команда их отдела полупроводников ездила на другие заводы для настройки и адаптации оборудования для источников света, они всегда платили за эксперименты и вносили залог.
И даже юридический отдел подготовил несколько шаблонов контрактов на этот случай.
После подписания контракта Чжао Синся повёл Гу Цина и его команду в другую исследовательскую комнату.
Для уже построенной рабочей комнаты литографической машины каждый эксперимент обходится очень дорого.
Надев белые рабочие костюмы, похожие на защитные, Ли Ю и другие внесли несколько компонентов оборудования для источников света в сверхчистую рабочую комнату литографической машины.
Чжао Синся наблюдал, как эти люди очень умело открывают систему литографической машины, заменяют оборудование источника света, а затем очень умело делятся на две команды.
Команда Ли Ю сидит за компьютерным рабочим столом, пальцы летают по клавиатуре, настраивая параметры, а Чжан Яньтай со своей командой занимается настройкой лазера литографической машины, контроллера энергии и других элементов.
Хотя оборудование источника света адаптировано для этой литографической машины, но есть много мелких проблем, которые необходимо решить, иначе не то что чип не получится изготовить, но и поломка литографической машины - это вполне нормально.
Проработав большую часть дня, Ли Ю и Чжан Яньтай вместе всё проверили, и только после этого показали в камеру, установленную в комнате, знак "ОК".
"Профессор Чжао, эксперимент вот-вот начнётся", - напомнил Гу Цин.
Чжао Синся кивнул.
Будь то ближний ультрафиолетовый (NUV) лазер, глубокий ультрафиолетовый (DUV) лазер или самый высокотехнологичный экстремальный ультрафиолет EUV.
У всех них есть иероглиф "фиолетовый", и это не очень сложный вопрос, потому что все эти источники света являются самыми настоящими фиолетовыми источниками света.
Разработанный отделом полупроводников компании "Цзючжоу Кэцзи" (Jiuzhou Technology) источник света SS1MB со стационарным микропучком для литографической машины S1A с разрешением 90 нм - это источник света DUV (глубокий ультрафиолет).
Оборудование источника света работает, лазер излучает глубокий ультрафиолетовый свет.
После коррекции он поступает в контроллер энергии, устройство формирования луча и другое оборудование, а затем попадает на столик для фотошаблона.
На столике для фотошаблона находится тестовый фотошаблон, затем свет проходит через объектив и проецируется на столик для экспонирования.
На столике для экспонирования находится 8-дюймовая кремниевая пластина, покрытая фоторезистом.
Через полчаса... Конечно, чип не изготавливается за такое короткое время, но можно оценить его рабочее состояние и результаты пробного запуска.
"Это, это, это..."
"Это действительно правда, отечественный источник света DUV? Я не сплю, Лао Чжао?"
"Исключительная чистота"
Молодой инженер, который только что был немного обижен, теперь смотрел на литографическую машину в рабочей комнате, непроизвольно открыв рот, с немного рассеянным взглядом.
Ли Ю, как зрелый человек с семьёй, очень заботится о младшем поколении.
Он подошёл к этому человеку и похлопал его по плечу.
"Приди в себя, это только начало".
"А? А? Какое начало? Вы можете продать нам этот источник света? Теперь мы можем использовать наш отечественный источник света?"
Этот молодой инженер говорил бессвязно, как и другие исследователи и инженеры.
Вся лаборатория и рабочая комната литографической машины были потрясены.
Собственное оборудование для источников света компании Великой Ся!
Как долго они этого ждали?
Один из старых инженеров "Пудун Вэйдяньцзы" (Pudong Microelectronics) непроизвольно вытер слёзы.
Мужчины не плачут по пустякам, но бывают моменты, когда сдержаться невозможно.
Эта группа пожилых людей, посвятивших себя отечественной полупроводниковой промышленности, особенно глубоко переживала.
Когда они начинали заниматься этим...
"Лучше купить, чем производить, производите мусор и продаёте его дорого, отечественное не работает.
У отечественного много проблем, не делайте это, лучше купите немецкий источник света!
Делаете литографическую машину, только обманываете своих!"
Каждое едкое и злобное слово, сказанное в прошлом, теперь эхом отдавалось в ушах, а затем он снова посмотрел на эту литографическую машину.
"Наконец-то появился хороший источник света".
Профессор Чжао снял очки, вытер и снова вытер слёзы в уголках глаз, его помощник рядом с ним тоже плакал навзрыд.
Гу Цин поджал губы и покачал головой.
Хотя он и знал о трудностях исследований и разработок в области полупроводников в Великой Ся, но всё же недооценил ущерб, нанесённый этим исследователям общественным мнением и экономической средой того времени.
Да, за границей есть зрелые и передовые технологии, нужно только заплатить деньги, и можно наслаждаться безупречным сервисом.
А в стране есть группа упрямцев, которые повсюду просят о помощи и спонсорстве, экономят каждую копейку, чтобы проводить эксперименты и разработки, и, с трудом добившись каких-то результатов, из-за отсутствия адаптации к рынку и обратной связи для улучшений, получают недостатки.
А затем следует шквал оскорблений и унижений, и даже "отечественная высокотехнологичная продукция" подвергается критике в СМИ и становится "подделкой".
Немецкие товары, японские товары, американские версии - вот что хорошо.
И "Пудун Вэйдяньцзы" (Pudong Microelectronics) упорно игнорировала эти слухи и сплетни, и продолжала усердно работать, пока не смогла запустить в серийное производство литографическую машину с техпроцессом 90 нм.
В открытых источниках указано, что используется источник света ARF с длиной волны 193 нм.
Это означает, что если появится лучший источник света, то точность литографической машины быстро повысится.
"Вы не знаете, для основного компонента - мощного лазера - требуется стабильный и управляемый лазер мощностью более 20 000 Вт. Компоненты для такого лазера могут поставлять только Германия и Америка.
В этой области у нас с ними огромный разрыв. Из-за отсутствия спроса практически ни одна компания не может предоставить соответствующие компоненты.
Позже Лао Чжуан из Харбинского политехнического университета помог нам наладить связь, и после сотрудничества с ними нам пришлось выбрать в качестве отправной точки схему DPP, которая не требует мощного лазера, но и не позволяет увеличить мощность.
Ваша компания проделала действительно хорошую работу, очень хорошую".
Профессор Чжао не стал спрашивать Гу Цина, не используется ли в этом источнике света иностранный компонент, как в тот раз, когда тот негодяй купил готовый продукт, чтобы обмануть их.
Потому что для такого нового технологичного источника света, не то что готового продукта, сейчас даже статей почти нет, где им его купить?
Но Гу Цин, услышав слово "Лао Чжуан", инстинктивно спросил: "Профессор Чжао, вы говорите о профессоре Чжуан Ювэе из Харбинского политехнического университета?"
Чжао Синся только тогда надел очки и кивнул.
"Это он, у нас здесь есть несколько студентов из Харбинского политехнического университета, которых он порекомендовал".
Гу Цин хлопнул в ладоши.
"Разве это не судьба? У меня тоже хорошие отношения с профессором Чжуаном, в проекте бионических механических протезов нашей компании также участвуют студенты из Харбинского политехнического университета".
Они начали общаться на эту тему, и между ними возникло что-то вроде дружбы, несмотря на разницу в возрасте.
Обновлено: 08.04.2026