15 января 2019 года.
Промышленный парк полупроводниковых материалов Города Танду.
За последние два года в Городе Танду было создано множество промышленных парков.
Промышленные парки, такие как полупроводниковый и батарей Xuanwu, появились благодаря тесному сотрудничеству с Yinhe Technology.
Можно сказать, что без Yinhe Technology эти промышленные парки не возникли бы.
Более того, эти промышленные парки действительно обладали технологиями, инвестициями и производством, в отличие от других городов, которые строили несколько зданий, прокладывали несколько дорог и заявляли, что это промышленный парк.
Обычно этот промышленный парк вел себя очень скромно, настолько, что многие даже не догадывались: внутри него находился стратегически важный объект государственного значения.
Этим объектом был завод фотолитографии.
Как только технология завода фотолитографии доказала свою жизнеспособность, власти в кратчайшие сроки выделили Yinhe Technology участок земли площадью 500 му для строительства такого завода.
Эта промышленная земля была предоставлена совершенно бесплатно.
Более того, Yinhe Technology также получила миллиард юаней на строительство в качестве поощрения.
Помимо этого, они связались с официальной строительной командой, и строительство завода фотолитографии было объявлено политической задачей.
Таким образом, дальнейшие действия стали весьма простыми.
Yinhe Technology нужно было только сформулировать требования, предоставить технологии и финансирование — остальное можно было полностью доверить властям.
Когда за дело брались официальные структуры, скорость, естественно, была необычайной.
Всестороннее обеспечение гарантировало, что скорость строительства была словно нажатие кнопки ускорения, поэтому такой огромный суперсовременный высокотехнологичный завод был построен в кратчайшие сроки и введен в пробную эксплуатацию.
Да, сегодня был день пробного запуска фотолитографического завода.
Рано утром весь промышленный парк был взят под охрану крепкими молодыми людьми в костюмах.
Руководство Города Танду, руководство Провинции Цинь, а также руководство из столицы.
И съемочная группа центрального телевидения незаметно прибыла в промышленный парк.
* * *
Центр управления фотолитографического завода.
Людей, которые могли здесь находиться, было немного.
Главный управляющий Города Танду У Цинсун, заместитель главного управляющего Провинции Цинь Дуань Чжэн, глава Департамента науки и технологий Провинции Цинь, заместитель директора Министерства промышленности и информатизации столицы, директор Департамента высоких технологий Министерства науки и технологий и другие.
Руководителем фотолитографического завода стал старший эксперт Лян Сун, которого Ван Дунлай специально переманил.
В первоначальной хронологии только благодаря присоединению Лян Суна Центр смог преодолеть трудности 14-нанометрового технологического процесса за 300 дней и повысить процент выхода годной продукции Центральной международной компании до 95%.
Эту способность нельзя назвать немощной.
Но такой выдающийся талант впоследствии был изгнан из-за борьбы за власть внутри компании.
Это было похоже на черный юмор.
Однако в этой хронологии Ван Дунлай не дал Центру Интернэшнл такого шанса.
Сразу после того, как Лян Сун вышел из периода ограничения на работу, Ван Дунлай лично посетил его и переманил к себе.
Чтобы привлечь такого выдающегося специалиста, одних денег было недостаточно.
Но Ван Дунлаю хватило всего трех коротких фраз, чтобы убедить Лян Суна и помочь ему принять твердое решение присоединиться к полупроводниковому подразделению Yinhe Technology.
Теперь, стоя в командном центре, Лян Сун скрывал невыразимое волнение и возбуждение.
Если сегодня пробный запуск фотолитографического завода завершится успешно, это будет иметь огромное значение.
В центре управления было очень светло, огромный кольцевой экран был разделен на более чем двадцать окон, а на центральном большом экране был очень заметный обратный отсчет.
До запуска оставалось тридцать минут!
Управляющий Лю стоял перед экраном, легко постукивая пальцем по столешнице, издавая тихие стучащие звуки.
Раз уж управляющий Лю смог здесь появиться, значит, он, конечно, разбирался в технике. Если бы он совсем ничего не понимал, то во время проверки работы его бы обманули, и он бы даже не узнал об этом.
— Доктор Лян, какова была погрешность синхронизации двух рабочих платформ во время последней отладки вчера вечером?
Будучи ответственным, Лян Мэнсун подсознательно взглянул на Ван Дунлая, прежде чем сказать: — Докладываю, руководитель, погрешность синхронизации ≤2 нм, что соответствует проектным показателям!
Голос его был немного хриплым, и если приглядеться, можно было заметить красные прожилки на глазных яблоках Ляна. Последние полгода Лян полностью жил и работал здесь. Если другие работали по графику «996» (с девяти утра до девяти вечера, шесть дней в неделю), то Лян трудился «007» (двадцать четыре часа в сутки, семь дней в неделю). В литографическом заводе он вложил больше всего сил.
Неизвестно, сколько бессонных ночей и сколько сверхурочных часов он провёл. Если бы Ван Дунлай специально не выделил Ляну медицинскую команду для поддержания его здоровья, он бы, вероятно, давно уже вымотался. Но даже так, усталость на его лице была чрезвычайно заметна.
Второй управляющий похлопал Ляна по плечу, ободряюще говоря: — Провинция всегда уделяла большое внимание этому месту, и в своё время вы будете удостоены почестей. Вы — заслуженные герои полупроводниковой промышленности всей провинции.
У Циншань также заявил: — Доктор Лян, не нервничайте, верьте в силы академика Вана и верьте в свои собственные способности.
Лян кивнул, глубоко вдохнул, силой подавляя волнение в сердце.
А Ван Дунлай, наблюдая со стороны, демонстрировал во взгляде мощную уверенность.
Технологический путь литографического завода, если бы он развивался по первоначальной временной линии, вероятно, не был бы реализован в течение десятилетий. Однако в этом временном пространстве, с его вмешательством, ситуация изменилась.
По сути, ключевая технология литографического завода заключалась в контроле со стороны Нюйвы. Иными словами, литографический завод было невозможно воспроизвести с текущим уровнем технологий.
Если бы Ван Дунлай захотел, он мог бы в любой момент отозвать контроль Нюйвы, тем самым обрекая литографический завод на провал.
Не только литографический завод, но и батареи Сюаньу были созданы аналогичным образом.
«Когда хитрого зайца поймают, гончих варят; когда птиц не останется, лук прячут».
Эту поговорку Ван Дунлай хорошо знал.
Время быстро пролетело, и наступило девять часов.
В контрольном центре раздался чёткий командный голос:
— Внимание всем подразделениям, начинается обратный отсчёт запуска процесса фотолитографии.
— Десять!
— Девять!
— Восемь!
— ...
Все инстинктивно затаили дыхание, не отрывая взгляда от экранов.
— Лазерный источник света готов!
— Проекционный объектив сфокусирован!
— Экспонирование началось!
По мере того как отдавались одна за другой команды, весь завод погрузился в чрезвычайно серьёзную и сосредоточенную атмосферу.
Фотолитография, будучи самой высокотехнологичной из высоких технологий, обладает чрезвычайно сложным техническим содержанием. Следовательно, это означало, что уровень образования сотрудников, работающих здесь, не мог быть низким. Минимум — выпускник ведущего университета, а магистров и докторов наук здесь было предостаточно.
Тем более, что это была единственная в мире технология фотолитографии, обладающая глобальной уникальностью, которая привлекла внимание бесчисленных учёных и специалистов. Многие люди не хотели даже зарплаты, более того, готовы были сами доплачивать, лишь бы иметь возможность вплотную ознакомиться с этой технологией. В академическом мире это представляло огромную научную ценность.
Поэтому то, что было очевидно для посторонних, прекрасно понимали и многочисленные сотрудники, работающие здесь. Этот момент, без сомнения, был решающим для их судьбы.
Стоило фотолитографическому заводу добиться успеха, как они, на волне этого успеха, смогли бы достичь новых высот в карьере. Но если бы постигла неудача — о каких бы достижениях тогда могла идти речь!
На экранах командного центра можно было видеть кадры каждого этапа. В конце концов, это фотолитографический завод, а не процесс производства чипов, здесь не начинают с превращения песка в чипы. Было видно, как роботизированная рука медленно перемещает 12-дюймовую кремниевую пластину в заданное положение; фоторезист, нанесённый на эту пластину, был продуктом собственной разработки Galaxy Technology.
От проектировочного программного обеспечения EDA до литографических степперов — все эти ключевые программы и оборудование были разработаны Galaxy Technology самостоятельно, прорываясь сквозь западные технологии. Все присутствующие смотрели на кремниевую пластину на экране, словно на редчайшее сокровище, преисполненные ожидания.
В момент точного стыковки пластины с двойным рабочим столом на экране мгновенно появилось точное значение ошибки выравнивания.
0,05 мкм!
Что означает это число? Оно равно одной тысячной диаметра человеческого волоса!
Вскоре световое пятно начало скользить по поверхности пластины, словно нанося схемы наноразмерным резцом. Крошечный чип, возможно, размером меньше ногтя мизинца, но под высокоточным микроскопом на нём видны плотно расположенные электрические цепи. Только увидев это, можно понять, насколько мощные технологии скрыты в микросхеме.
Низкий гул работающего оборудования стал резким в абсолютно тихом командном зале. Однако никто из присутствующих не выразил недовольства этим звуком, напротив, все затаили дыхание, опасаясь, что любое движение может повлиять на процесс.
Первая экспонированная пластина была отправлена в проявочную машину; после обработки фоторезиста проявителем на ней постепенно проявился рисунок схемы. Когда пластина была извлечена из оборудования, руководитель тестирования быстро шагнул вперёд и с помощью манипулятора перенёс её под электронный микроскоп.
На экране чётко выстроился массив транзисторов с технологией 28 нм, края линий были гладкими, как зеркало, без малейших заусенцев.
— Равномерность ширины линий 98,7 %! — голос руководителя тестирования дрожал. — Соответствует проектным стандартам!
В контрольном центре раздался первый порыв сдержанных аплодисментов, который тут же быстро стих. Ведь настоящий «большой экзамен» ещё впереди: дальнейшее травление, ионная имплантация, осаждение металлов... ещё более 100 операций. Любая ошибка на одном из этапов сведёт на нет все предыдущие усилия.
Минута за минутой шла, пластины перемещались между цехами, а на экране центра управления в реальном времени обновлялись параметры каждого процесса: ошибка глубины травления ≤2 %, равномерность концентрации ионного легирования ≥99 %, выход годных металлических соединений 95 %... Кривая данных напоминала натянутую струну, то взмывая вверх, то опускаясь, но всегда оставалась выше проходной черты.
Поскольку весь процесс невозможно было завершить за час-два, руководство выделило целый день, чтобы остаться здесь и лично наблюдать за официальным запуском литографического завода. Если возникнут проблемы, их необходимо немедленно выявить и устранить. В случае успеха об этом сразу же доложат наверх, и это станет ещё одной передовой мировой технологией, значительно укрепляющей нашу позицию и конкурентоспособность.
К полудню доставили специально заказанные ланч-боксы, никто не выходил на обед. Даже для отдыха временно использовали зону отдыха для сотрудников завода.
— Химико-механическая полировка (ХМП) после обеда — ключевой этап, плоскостность поверхности должна быть в пределах 0,5 нм.
— Не забудьте проверить контактное сопротивление металлического межслойного соединения, это напрямую влияет на производительность чипа.
Лян Сун, объясняя ключевые технические моменты руководителю отдела процессов, одновременно анализировал своё выступление в полдень.
В этот момент подошёл Ван Дунлай.
Когда Ван Дунлай появился, все присутствующие встали.
Это было не из-за того, что Ван Дунлай был их боссом, а из-за их восхищения технологиями, которыми он владел.
Технологическое ядро завода литографии было полностью разработано Ван Дунлаем.
До сих пор многие технологии были им известны по факту, но не по своей сути.
Казалось бы, они были техническими менеджерами литографической фабрики, но на самом деле мало чем отличались от обезьян, нажимающих на кнопки.
Если немного преувеличить, то, если бы Ван Дунлай захотел написать чрезвычайно подробное руководство по эксплуатации, все они могли бы уволиться.
Можно было бы просто выбрать нескольких **сотрудников** с хорошей памятью и послушанием, заставить их вызубрить руководство по эксплуатации и следовать изложенным там правилам, и они не справились бы хуже.
— Босс! — хором воскликнули все, в их голосах слышались обожание, благоговение и лёгкая зависть.
— Хорошо, все садитесь.
— Сегодня для группы, и для вас всех, очень важный день.
— Посмотрим, на что вы способны. В литографический завод было вложено несколько десятков миллиардов, и если он преуспеет, то окупится вдвойне.
— Здесь, у меня, нет места поражениям!
— Утром вы показали себя неплохо, но есть ещё куда расти. Учитывая, что это был первый раз, я могу это понять.
— Во второй половине дня расслабьтесь, не забивайте голову лишним, просто делайте свою работу, как обычно.
— Технологии не лгут, машины стабильны, поэтому успех есть успех.
— Сообщу вам новость: все **сотрудники** в этом месяце получат дополнительную зарплату в качестве платы за труд, и это не противоречит премии за успешное завершение проекта.
Ван Дунлай, будучи боссом, естественно, знал, как мотивировать **сотрудников**.
Раздавать обещания работало некоторое время, но после потери доверия это давало только обратный эффект.
Самым эффективным было платить, просто платить деньги.
Даже те, кто не особо ценил деньги, не отказались бы от зарплаты босса и работали бы усерднее.
Как и ожидалось, после того как Ван Дунлай объявил эту новость, лица всех присутствующих тут же загорелись волнением и воодушевлением.
Воодушевив всех, Ван Дунлай удалился, а остальные быстро вернулись на свои рабочие места.
В три часа дня пластина вошла в завершающую стадию обработки — тестирование.
Когда зондовая карта коснулась контактных площадок чипа, воздух в центре управления, казалось, застыл.
На экране появились первые тестовые данные:
Тест логических функций: пройден
Ток утечки: 0.01 мкА/мм
Максимальная рабочая частота: 3.2 ГГц
Выход годных изделий: 96.7%
— Выход годных изделий 96.7%!
Увидев эти данные, инженер по тестированию тут же взволнованно вскочил, его голос дрожал от переизбытка эмоций.
В этот момент тишина в центре управления была мгновенно нарушена.
Сначала раздался сдавленный возглас, который затем, подобно степному пожару, распространился повсюду — молодые инженеры обнимались, кто-то вытирал слёзы и смеялся, кто-то размахивал блокнотами, исписанными параметрами.
Даже на лицах руководителей появилось такое желанное облегчение.
Завод по производству фотолитографии нёс на себе слишком уж огромную ответственность.
Не стоит думать, что здесь присутствовали лишь эти несколько руководителей — гораздо большее число высокопоставленных лиц тайно следило за новостями отсюда.
И теперь, когда появились эти тестовые данные, пусть и только для первой партии, этого было достаточно, чтобы снять напряжение.
Даже если последующие данные по продукции окажутся не такими радужными, это будет лишь проблемой Оптимизации производственного процесса, а не проблемой технологического пути литографического производства.
Управляющий Лю быстро подошёл к Лян Суну и крепко пожал ему руку, произнеся:
— Доктор Лян, вы сотворили чудо! Сегодняшние достижения означают, что мы сломили ведущие позиции западных производителей литографических машин, мы открыли новый путь, проложив дорогу для развития полупроводниковой индустрии. Это имеет огромное значение!
В ответ на похвалу управляющего Лю, Лян Сун быстро пришёл в себя от волнения и подсознательно объяснил:
— Лидер, я всего лишь исполнитель, а тот, кто предложил концепцию литографического завода и осуществил прорыв в разработке ключевых технологий, — это наш босс, ему принадлежит наибольшая заслуга.
Как только Лян Сун произнёс эти слова, взгляды всех тут же обратились к Ван Дунлаю.
И в этот момент все заметили странность в поведении Ван Дунлая.
В то время как все радовались этим тестовым данным, Ван Дунлай хмурился, и любой мог понять, что он чем-то недоволен. На какое-то время это вызвало у присутствующих интерес и любопытство.
Обновлено: 21.01.2026