«В настоящее время для процесса травления применяются три основных метода: ионная фрезерная обработка, плазменная обработка и реактивная ионная обработка.»
«Из этих трех методов ионная фрезерная обработка самая простая, обладает высокой степенью контроля и высокой технологической зрелостью. Связанные с ней патенты фактически уже практически все заявлены. Чтобы обойти западные патентные барьеры и выйти вперед, этот метод очень сложен.»
«Кроме того, у этого метода есть и собственные технические недостатки: очень низкая избирательность травления. Для него необходима специальная технология контроля конечного состояния травления, а скорость травления довольно низка. В целом, соотношение цена-качество невыгодно.»
«Плазменная обработка обеспечивает хорошую избирательность и высокую скорость травления за счет выбора и управления составом газов плазмы, но точность травления невысока. Обычно ее применяют только для процессов с линиями шириной более 4-5 микрон.»
«А проект, который мы сейчас тестируем в лаборатории, — это схема реактивной ионной обработки, разработанная Ван Цун!»
Чэнь Линъюэ, рассказывая об этом, вместе с Ин Цзыяо и другими отправился в зону проекта по травлению.
Услышав такой рассказ от Чэнь Линъюэ, выражение лица Ин Цзыяо оставалось неизменным.
Он уже читал научную работу, и хотя был немного удивлён, что Ван Донлай так быстро начал проверку в своей лаборатории, всё же это было бы обычным делом.
Чэнь Линъюэ, как и Ван Донлай, видел мысли Ин Цзыяо.
В молчании они быстро добрались до места назначения.
Много лет работая в отрасли травления, Ин Цзыяо всё ещё оценивал лабораторию.
«Похоже, «Галактическая Технология» действительно не жалеет средств на это!»
Когда он увидел проект эксперимента, Ин Цзыяо сразу стал очень серьёзным.
Он не отрывал глаз от приборов.
Современное оборудование для ионной фрезерной обработки включает в себя сложные механические, электрические и вакуумные устройства, а также автоматизированные системы контроля конечного состояния травления и управления. Оно очень дорогостоящее, и лишь немногие лаборатории могут позволить себе полностью его оснастить.
Перед Ин Цзыяо стояло это оборудование.
Это оборудование было отремонтировано и настроено вручную для проверки схемы реактивной ионной обработки, разработанной Ван Донлаем.
Честно говоря, если бы не присоединение Чэнь Линъюэ к «Галактической Технологии», собрать все эти приборы заняло бы ещё полгода, а может быть, и больше.
Принцип работы реактивной ионной обработки, в принципе, несложен.
Этот процесс травления сочетает в себе физическое и химическое воздействие. Светящийся разряд происходит при низком давлении (несколько десятых до десятков паскалей), кремниевая пластина находится под отрицательным потенциалом, большая часть напряжения разряда приходится на область около катода. Заряженные частицы под действием электрического поля, перпендикулярного поверхности кремниевой пластины, ускоряются и попадают на ее поверхность с большой энергией, осуществляя физическое травление. Одновременно они вступают в сильное химическое взаимодействие с пленкой, вызывая химическое травление.
Выбор подходящего состава газов позволяет не только получить желаемую избирательность и скорость травления, но и сократить срок службы активных групп. Это эффективно подавляет побочные реакции, вызванные диффузией этих групп вблизи поверхности пленки, что значительно повышает анизотропность процесса травления.
Реактивная ионная обработка также является перспективным методом травления при изготовлении микросхем сверхбольших интегральных схем.
В то время, когда Ван Донлай разрабатывал свой план, он изначально собирался создать схему ионной обработки. Но в состоянии «Разгона мозга» его вдохновение было бесконечным, и он разработал совершенно новую схему реактивной ионной обработки.
После того как он разработал схему, он отправил её Чэнь Линъюэ для проверки в лаборатории.
После почти двух дней настройки оборудования сегодня наступил день проверки.
Оператор ещё раз всё проверил, после чего Чэнь Линъюэ дал команду начать проверку.
«Уум!»
Машина тихонько загудела, и сразу стали видны работающие приборы.
В этот момент Ин Цзыяо хотел бы снять с себя глаза и положить их прямо на оборудование, чтобы не пропустить ни одной важной детали.
Нельзя не отметить, что в этой ситуации Ин Цзыяо проявлял свою страсть к делу с искренностью и энтузиазмом.
Ван Донлай и Чэнь Линъюэ, увидев такое поведение Ин Цзыяо, невольно испытывали к нему уважение.
Ведь человек такого возраста, который всё ещё сохраняет такую страсть к технике, поистине заслуживает восхищения.
Сам по себе процесс травления не занимает много времени.
Поэтому вскоре оборудование остановилось.
Ин Цзыяо сразу же захотел посмотреть результаты и обратился к Ван Донлаю за согласием.
Ван Донлай кивнул и сказал: «Ин Цун, как эксперт в этой области, ты можешь проверить».
Ван Донлай был полон уверенности и не боялся никаких трудностей.
Ин Цзыяо не отстал, кивнул и тут же вошёл внутрь, чтобы начать проверку.
Чем больше он смотрел, тем больше удивлялся Ин Цзыяо.
Как опытный специалист со стажем работы в этой области, он сам разработал немало передовых схем травления.
С логической точки зрения, учитывая его опыт и достижения, перед ним не должно было возникнуть такого волнения и интереса к схеме, разработанной Ван Донлаем.
Но на самом деле всё было иначе.
Чем дальше развивается технология, тем больше ограничений и препятствий возникает на её пути.
Разработки схем травления достигли уже высокого уровня, и для обхода существующих решений требуется значительно больше знаний и более тонкий подход к проектированию.
После прочтения научной работы Ван Донлая Ин Цзыяо понял, что перед ним настоящий гений в этой области.
Кроме того, информация, раскрытая в научной работе, вызвала у Ин Цзыяо большой интерес и ожидание.
В этот момент Ин Цзыяо сконцентрировал все свои силы на наблюдении и проверке.
Он провёл полчаса, проверяя.
Сложив готовый образец, Ин Цзыяо смотрел на него с сияющими глазами.
Потому что он уже был уверен: схема травления Ван Донлая была выполнена не просто отлично, но и превосходила все ожидания.
Это совсем не похоже было на схему разработки, которая только появилась. Она выглядела как проверенная временем схема, лишенная каких-либо недостатков.
"Идеально!"
Это можно описать одним словом: идеально.
После того, как он принял решение в своем сердце, Ин Цзыяо испытывал волнение и трепет.
Волнение вызывалось тем, что благодаря этой схеме он мог с уверенностью заявить, что отечественная разработка оборудования для травления уже не представляла серьёзную проблему.
А трепет вызывался тем, что способности Ван Донлая заставляли его, как руководителя компании «Zhongwei», беспокоиться о развитии своей собственной компании.
Ведь он уже знал, что «Галактическая Технология» Ван Донлая будет развиваться в области полупроводников.
Он прекрасно понимал, какие результаты могли быть достигнуты под руководством такого талантливого лидера, и это вызывало у него тревогу.
Потому что он сам прошёл через подобное в своё время.
«Ин Цун, что ты думаешь?»
Ван Донлай подошёл и улыбнулся Ин Цзыяо.
«Ван Донлай, сравнивая себя с вами, я чувствую, что последние несколько десятилетий моей жизни были прожиты впустую. Вы — настоящий талант!»
Ин Цзыяо, с лёгкой улыбкой и самоиронией, сказал это, не скрывая своих эмоций.
«Тогда, Ин Цун, почему бы нам вместе не прогуляться?»
Ван Донлай протянул руку и пригласил Ин Цзыяо.
“Хорошо!”
Ин Цзыяо не был глуп и, разумеется, понимал, что Ван Донлай пригласил его сейчас обсудить что-то важное.
И вновь отправились они в лабораторию.
Проекты искусственного интеллекта в медицине, литиевые аккумуляторы, беспилотники...
Они прошли мимо каждого проекта, и Ван Донлай коротко рассказал Ин Цзыяо о каждом из них.
В конце концов, вернувшись в офис, Ин Цзыяо понял намерения Ван Донлая.
«Ван Донлай, давайте не будем ходить вокруг да около. Какова ваша стратегия в отношении совместного проекта, о котором вы говорили вчера?»
Ин Цзыяо не стал приукрашивать и сразу же спросил прямо.
Потому что он понимал, что находится в уязвимом положении и у него практически нет шансов торговаться.
Это не значит, что если его компания потеряет эту схему, она сразу обанкротится и прекратит своё существование.
Просто развитие компании будет идти медленнее, прибыль наступит немного позже.
Но увидев мощь Ван Донлая в разработке схем, он не мог упустить эту возможность.
В бизнес-мире никто не хочет иметь много конкурентов.
Ин Цзыяо, открыто спросив о планах сотрудничества, не удивил Ван Донлая, который и ожидал подобного вопроса.
«Ин Цун, как вы считаете, каким должен быть путь развития полупроводниковой промышленности в нашей стране?»
Ван Донлай не ответил на вопрос Ин Цзыяо напрямую и задал взамен другой вопрос.
Ин Цзыяо немного задумался, прежде чем ответить: «В нашей стране уже немало компаний занимаются разработкой оборудования для полупроводниковой промышленности. Есть компании, специализирующиеся на фотолитографах, круглых кристаллах и проектировании чипов».
«Конечно, в некоторых областях мы все еще отстаем от мировых лидеров. Но мы уже преодолели этап «от нуля», и теперь нам нужно просто вложить больше средств и ресурсов, привлечь талантливых специалистов, и постепенно сокращать разрыв с передовыми странами».
«У нас огромная страна с многочисленным населением, а значит, у нас большой пул талантливых людей. Поэтому скорость нашего развития не будет слишком медленной.»
В тот момент, когда Ин Цзыяо говорил это, Ван Донлай внезапно прервал его.
«Тогда, Ин Цун, сколько лет вам, по-вашему, потребуется, чтобы догнать лидеров?»
Ин Цзыяо не обратил внимания на то, что Ван Донлай прервал его, немного подумал и ответил: «Если всё пойдёт хорошо, то через тридцать лет мы сможем сравняться с лидерами. В худшем случае — через пятьдесят».
Он не просто так произнёс это число. Как опытный специалист в этой области, он сделал этот вывод на основе своего опыта и знаний о ситуации в индустрии.
В настоящее время, например, в области фотолитографов и других технологий, отечественные компании отстают от мировых лидеров на двадцать лет. Наша страна стремится сократить этот разрыв, а зарубежные компании продолжают развиваться. Если всё пойдёт гладко, догнать их потребуется больше времени, чем двадцать лет.
И это при условии, что государство будет оказывать активную поддержку, вкладывать огромные средства и привлекать талантливых специалистов для развития этих технологий.
Без этих условий развитие пойдет еще медленнее.
«Ин Цун, тридцать пять лет — это слишком долгое время. Жизнь коротка, нужно ценить каждый день и действовать решительно!»
«Кроме того, растягивая сроки на тридцать—пятьдесят лет, кто может гарантировать, что за это время не произойдут какие-либо непредвиденные обстоятельства?»
«По моему мнению, Западу не хватит времени. Глядя на то, как ваша компания столкнулась с обвинениями и исками в последние несколько лет, можно понять их намерения.»
«Государство ежегодно импортирует полупроводники на сумму несколько сотен миллиардов долларов. Этот рынок огромен, и они не позволят нам спокойно пробиться».
«Патентные барьеры и технические санкции — вполне предсказуемые меры».
«Не знаю, Ин Цун, согласны ли вы со мной?»
Ван Донлай закончил свою речь и молча ждал ответа от Ин Цзыяо.
Ин Цзыяо, проведя много лет за границей, прекрасно знал характер этих компаний.
В особенности после того, как он вернулся на родину и был обвинён в судебных разбирательствах двумя бывшими работодателями — Applied Materials и ASML, он окончательно понял истинную сущность этих компаний, которые позиционируют себя как свободные и демократические.
Если бы он не был таким осторожным с самого начала, избегая споров по патентам, его компания «Zhongwei» могла бы быть разорена.
Даже в таком случае он не думал, что они оставят его в покое. Они непременно продолжали следить за ним и ждать подходящего момента, чтобы нанести удар.
Но даже зная всё это, Ин Цзыяо не хотел соглашаться с мнением Ван Донлая.
Ван Донлай ясно изложил свою позицию в ходе беседы.
Он хотел предложить совместные усилия для преодоления этих трудностей и достижения независимости от западных патентов.
Это было хорошее, но нереалистичное предложение.
Думая об этом, Ин Цзыяо ответил:
«Ван Донлай, вы правы. Западные компании действительно так поступают: пользуясь патентными барьерами и технологическим преимуществом, они продают нам свои продукты в несколько раз дороже и получают огромную прибыль.»
«Они отнимают у нас деньги, как будто мы им должны. Ежегодно государство тратит сотни миллиардов на импорт их продукции — это их источник дохода, и они не позволят никому вмешиваться в этот поток. Как только кто-то попытается конкурировать с ними, они тут же обрушат на него всю свою мощь. Этот рынок контролируется несколькими компаниями, которые не хотят появления новых гигантов».
«Ван Донлай, если мы хотим добиться независимости и создать собственные аналоги, это будет как попытка вырвать еду из пасти тигра — очень рискованно!»
Ин Цзыяо покачал головой, не говоря ни слова, но его жесты и выражение лица всё говорили.
«Я понял ваше мнение, Ин-Цун.»
Ван Донлай и сам предполагал, что Ин Цзыяо откажет ему, поэтому оставался спокойным.
В офисе воцарилась тишина.
«Ван Донлай, мы оба патриоты. Я восхищаюсь вашей смелостью и амбициями. В других областях я могу быть не так полезен, но в области фотолитографии наша компания «Zhongwei» — лидер рынка».
«В этой сфере у нас огромный потенциал для сотрудничества. Что вы думаете об этом, Ван Донлай?»
Ин Цзыяо улыбнулся и обратился к Ван Донлаю этими словами, как будто ничего не произошло.
«Отлично! Тогда давайте обсудим цену за эту схему фотолитографии.»
Ван Донлай не обратил внимания на предыдущую ссору и сразу высказал свою мысль.
В тот же миг они начали вести переговоры о сотрудничестве прямо в офисе.
В итоге цена за схему, которую изначально предлагали за два миллиона, возросла в несколько раз.
Параллельно с этим они пришли к определённым соглашениям и договоренностям.
Обновлено: 21.01.2026