```html
В комнате тестирования работала литографическая машина Shenguang 1X, и группа сотрудников все еще неустанно проводила тестирование и регулировку.
Как главный технический директор SMIC, технический уровень Ли Вэйгуана был довольно высок. Он с яркими глазами пристально смотрел на исполина перед собой. Какая замечательная промышленная цветник!
Ли Вэйгуан думал про себя, что надеется, что эта литографическая машина станет красивой женщиной с хорошей внешностью и умом, а не просто с хорошей внешностью.
Гао Чжиюань указал на литографическую машину и представил: "Литографическая машина перед вами — это Shenguang 1 X-ray литографическая машина, разработанная компании Shenguang Instruments. Я уверен, что все уже знают конкретные технические характеристики."
Конечно, Ли Вэйгуан, Чжао Цзюнь и другие знали, что технические спецификации литографической машины Shenguang 1X были включены в приложение к объявлению Министерства промышленности и информационных технологий, и они уже изучили его.
"Господин Гао, ваша фотолитографическая машина действительно может иметь точность 10 до 7 нанометров?" — настоятельно спросил Ли Вэйгуан.
"Я знаю, что все очень сомневаются. Сбоку находятся восьмидюймовые кремниевые пластины. SMIC, должно быть, привезла сюда своих техников, верно?"
Ли Вэйгуан кивнул.
Гао Чжиюань указал на склад с одной стороны и продолжил: "Вы можете отправить людей взять кремниевые пластины и провести фотолитографические тесты с нашими сотрудниками."
"Тогда мы должны быть уважительными и соблюдать порядок." — Ли Вэйгуан обратился к сотрудникам SMIC и сказал: "Гонг Чжан, Гонг Ли, извините за беспокойство."
Два средневозрастных техника быстро и внимательно извлекли кремниевую пластину с помощью инструментов.
Эти кремниевые пластины не только дорогие, но и очень хрупкие. Не говоря уже о том, чтобы уронить их на пол, лучше избегать непосредственно контакта с воздухом, так как загрязнение пылью может вызвать большие проблемы.
Пластины помещены в специальное чистящее оборудование, затем наносится фотосенсибилизатор, распределяется до определенной толщины и сушится на поверхности кремниевой пластины.
Процесс очень сложный, и нельзя допускать ошибок. Это испытывает не только машины и оборудование, но и уровень техников.
Если в одном из этапов произойдет ошибка, работа, вложенная в нее, окажется напрасной, а расходные материалы, такие как кремниевые пластины, фотосенсибилизатор и чистящие жидкости, будут потеряны. Это настоящие деньги.
Неудивительно, что научные исследования требуют значительных затрат.
Спустя более часа наконец был достигнут этап литографии кремниевой пластины. Восьмидюймовая кремниевая пластина была загружена в автоматическое оборудование литографической машины.
Чтобы избежать влияния на эффект фотолитографии, Ли Гонг некоторое время наблюдал за кремниевой пластиной через линзу небольшого окна, затем закрыл его, позволив фотолитографической камере сформироваться в темный ящик.
Чжан Гонг выбрал некоторые маски-шаблоны (печатные платы схем) на компьютере, случайным образом выбрал один из шаблонов и ввел размерные настройки.
Поскольку различные схемы чипов требуют разных площадей, количество чипов, которые можно выгравировать на одной кремниевой пластине, необходимо регулировать в соответствии с реальной ситуацией.
Сотрудники использовали простые жесты для общения. Вокруг такого высокоточного оборудования даже громкая речь могла повлиять на результаты литографии.
Литография началась.
Через примерно 16 секунд на выходе с противоположной стороны фотолитографированной кремниевой пластины появится результат.
Затем вторая кремниевая пластина была быстро обработана, и она тоже вышла примерно через 16 секунд.
За пределами комнаты тестирования Чжао Цзюнь, Ли Вэйгуан, Фан Лунг и другие внимательно наблюдали за двумя фотолитографированными кремниевыми пластинами.
Гонг Чжан и Гонг Ли использовали специальное оборудование, каждый отвечал за одну кремниевую пластину и перенес ее в комнату проверки электронного микроскопа рядом.
Под электронным микроскопом рисунок схемы на кремниевой пластине точно соответствовал шаблону, единственное различие заключалось в размере.
"Это действительно невероятно, что удалось достичь 7 нанометров." — воскликнул Гонг Ли, глядя в электронный микроскоп.
"Не только это, линии, выгравированные рентгеновской литографией, очень аккуратные и тонкие. Это поистине произведение искусства." — добавил Чжан Гонг.
Они провели очень тщательную проверку обеих кремниевых пластин и в конце концов сформировали два отчета о проверке.
Ли Вэйгуан, который был нервным снаружи, увидел, как оба вышли, не мог дождаться и шагнул вперед: "Какой результат?"
Все из SMIC и HiSilicon смотрели на них неуверенно и с надеждой, надеясь на хорошие новости, а не на плохие.
"Господин Ли, точность литографической машины Shenguang 1 X-ray действительно достигла 10 до 7 нанометров, что даже лучше, чем у литографических машин ASML." — объяснил Чжан Гонг.
Фух! Все с облегчением вздохнули.
Ли Гонг передал два отчета о тестировании Ли Вэйгуану: "Это конкретный отчет о тестировании."
Все в SMIC быстро передали его дальше.
После чтения детализированного отчета о тестировании Чжао Цзюнь и Ли Вэйгуан тяжело вздохнули. Эта литографическая машина Shenguang 1 X-ray даже лучше, чем самая современная литографическая машина ASML.
По крайней мере, текущие самые современные литографические машины ASML в значительной степени не справляются с 7-нанометровыми чипами, в то время как литографическая машина Shenguang 1 X-ray даже более чем способна.
Если бы они знали, что Хуан Минчжэ преднамеренно ограничил точность, они бы поняли, почему им удается это с легкостью.
"Господин Гао, как представитель китайского чипового сообщества, я от всей души вас поздравляю." — с волнением сказал Ли Вэйгуан.
Как китайские чиповые работники, их жизнь была слишком подавляющей. Разнообразные давления как внутри, так и вне страны почти лишали их воздуха.
Появление литографической машины Shenguang 1 X-ray заставило Ли Вэйгуана и других гордиться и наконец больше не испытывать циничные замечания тех, кто не верил.
"Мы не осмеливаемся брать на себя заслуги. На самом деле, президент должен взять на себя 90% заслуги за создание этой фотолитографической машины." — сказал Гао Чжиюань, не преувеличивая.
Хуан Минчжэ выбрал направление для рентгеновской литографической машины. Два ключевых материала происходили из модели фотосенсибилизирующего материала, а вся программная система была тесно связана с Хуан Минчжэ.
Кроме того, технологии моделирования пространства и обратного анализа конечных элементов, которыми владеет Общество Сиси, способствовали укреплению компании Shenguang Instrument.
Хотя все в SMIC и HiSilicon были очень удивлены, исследователи или сотрудники Shenguang Instruments, присутствующие на месте, все согласились с словами Гао Чжиюаня. Чжао Цзюнь и другие не имели намерения выяснять правду по этому вопросу.
"Господин Гао, мне интересно, сколько стоит литографическая машина Shenguang 1X?" — быстро спросил Чжао Цзюнь.
"1,5 миллиарда."
Гул! Хотя Чжао Цзюнь предполагал, что цена литографической машины Shenguang 1X будет очень высокой, он не ожидал, что она достигнет 1,5 миллиарда.
Конечно, высокая цена оправдана. Исследовательские и опытно-конструкторские расходы компании Shenguang Instruments должны быть возмещены, и никто не хочет терять деньги в бизнесе.
Но затем он расслабился, потому что покупка литографической машины Shenguang 1X была субсидирована, и государственная субсидия составляла целых 40%.
Другими словами, если цена литографической машины Shenguang 1 X-ray составляет 1,5 миллиарда, после субсидий она будет составлять 900 миллионов.
Однако эта политика субсидирования сейчас существует только на протяжении двух лет и может быть получена только китайскими компаниями. Кроме того, каждая литографическая машина будет зарегистрирована и не может быть передана без надобности.
Кроме того, субсидия не является прямой выплатой, но после того, как предприятие полностью оплатит покупку у Shenguang Instruments, государство компенсирует эту часть субсидии в виде налоговых вычетов.
Чжао Цзюнь и Ли Вэйгуан немного обсудили и в конце концов достигли соглашения с Shenguang Instruments. SMIC заказала 10 литографических машин Shenguang 1 X-ray у Shenguang Instruments, а контракт был разделен на два года.
Этот контракт составил целых 15 миллиардов, а пять единиц в этом году — это заказ на 7,5 миллиарда. Shenguang Instruments требует 50% предоплаты.
Кроме того, как только заказ размещён, независимо от того, хочет ли покупающая компания литографическую машину или нет, Shenguang Instruments не вернет деньги. Если заказ будет отменен без причины, предоплата не только не будет возвращена, но и будет внесена в черный список Общества Сиси.
Как публичная компания, SMIC немедленно объявила, что они заказали 10 литографических машин Shenguang 1 X-ray у Shenguang Instruments.
Этот огромный заказ не только потряс весь мир, но и стимулировал акцию SMIC к стремительному росту, с ценами акций, поднявшимися на 16% в тот день.
```
Обновлено: 10.04.2026